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真空抽气机组的技能要求

  真空机组作业在10-6~10-10Pa真空压力规模,除了要求真空室的漏气率很小、能饱尝200~450℃高温烘烤外,对机组的要求还有:

  (1)主泵的真空要高。至少在10-7~10-8Pa以上;

  (2)在真空的作业压力规模内主泵具有必定的抽速;

  (3)机组的主泵或主泵进气口以上部分能承受200-450℃的高温烘烤。

  (4)来自主泵的返流气体(包含作业液蒸气及解析的气体)的分压力要满意低。

  (5)对被抽气体挑选性强的主泵,要装备满意大的辅佐泵;

  机组主泵进气口以上的管道、阀门等部件,资料的挑选和密封要特别稳重。一般选用较低的不锈钢和选用金属密封资料,以耐高温烘烤。

小编:Qian