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真空泵机组如何更好地适应工况

完善的真空系统是由真空泵或真空机组以及各种管路、测量装置、阀门、电气控制系统等一系列的配套辅助元件设施一同构成的。由于真空系统应用的广泛,真空泵机组就需要适配多种类型的工况,以满足真空需求。那么,为了达到良好的真空效果又能保持真空泵机组的良好运行状态,降低或避免外界因素对真空泵机组性能的干扰,应采取怎样的的措施呢?

1、正确地组合。真空泵机组是基于一种泵不能满足抽气要求,需要几种泵组合起来,互相补充才能满足抽气要求的境况下出现的。如钛升华泵对氢有很高的抽速,但不能抽氦,而三极型溅射离子泵,(或二极型非对称阴极溅射离子泵)对氩有一定的抽速,两者组合起来,便会使真空装置得到较好的真空度。另外,有的不能在大气压下工作,需要预真空;有的出口压强低于大气压,需要前级泵,故都需要把泵组合起来使用。

2、正确地选择工作点。每种泵都有一定的工作压强范围,如:扩散泵为10-3~10-7mmHg,在这样宽压强范围内,泵的抽速随压强而变化,其稳定的工作压强范围为5×10-4~5×10-6mmHg。因而,泵的工作点应该选在这个范围之内,而不能让它在10-8mmHg下长期工作。又如钛升华泵可以在10-2mmHg下工作,但其工作压强应小于1×10-5mmHg为好。

以上就是真空泵机组厂家为大家总结的部分真空泵机组为满足实际工况应做采取的措施,希望对您的真空泵机组使用有所帮助。

小编:wxy